等離子體處理儀是通過利用對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。

　　等離子體是指電離氣體，是電子、離子、原子、分子或自由基等粒子組成的集合體。清洗時(shí)高能電子碰撞反應(yīng)氣體分子，使之離解或電離，利用產(chǎn)生的多種粒子轟擊被清洗表面或與被清洗表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而有效地清除各種污染物；還可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的潤(rùn)濕性能和改善膜的粘著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。

　　等離子體處理儀具有以下明顯優(yōu)點(diǎn)：

　　(1)處理溫度低,處理時(shí)間短,節(jié)約能耗,可縮短工藝流程;

　　(2)處理過程中不使用酸堿等化工原料,避免了高溫潮濕的生產(chǎn)環(huán)境;

　　(3)處理深度僅為數(shù)百埃到幾納米,不影響基體的固有性質(zhì);

　　(4)處理過程屬于干法處理,可大幅降低水資源消耗,對(duì)節(jié)約水資源有重要的社會(huì)經(jīng)濟(jì)意義;

　　(5)處理過程中無三廢排放,既保護(hù)了環(huán)境,又節(jié)約了企業(yè)的治污費(fèi)用,符合國(guó)家的環(huán)保政策;

　　(6)可采用不同的氣體介質(zhì)進(jìn)行處理,對(duì)材料終的表面化學(xué)結(jié)構(gòu)和性質(zhì)有較好的可控性。

　　等離子體處理儀的用途

　?。?）醫(yī)用材料研究，主要為研究和開發(fā)企業(yè)或研究所；

　?。?）電子領(lǐng)域，應(yīng)用較為廣泛，如電路板等；

　?。?）生物芯片領(lǐng)域；

　　（4）高分子材料研究或開發(fā)單位；

　　（5）精密研究的清洗、除污。保證儀器的正常使用；

　?。?）光學(xué)材料的開發(fā)和研究；

　?。?）電化學(xué)單位，進(jìn)行表面處理的單位；

　?。?）其他主要進(jìn)行表面處理的單位。