當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 紫外掩膜曝光系統(tǒng) >
產(chǎn)品分類
相關(guān)文章
UV-KUB 3 是一種基于掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 這是一個(gè)非常緊湊的桌面系統(tǒng),兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學(xué)裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準(zhǔn)直光束,因此可實(shí)現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。
我們?cè)贒ilase 直接激光寫入光刻技術(shù)方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn),因此推出了用于固化紫外光感光材料的 UV-KUB 系統(tǒng)。 UV-KUB 2 是一種基于 UV LED 的曝光和掩膜系統(tǒng),具有 365nm 的可用光源。 這是一款緊湊型的桌面系統(tǒng),能夠曝光最大直徑為 4“ 或 6“ 的晶圓。
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息