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PlasmaSTAR®模塊化腔室和電極組件是該系統(tǒng)的*功能。 腔室材料是硬質(zhì)陽極氧化鋁, 有幾種不同的電極設(shè)計,包括用于反應(yīng)離子刻蝕(RIE)和平面處理的水冷平板電極,用于表面清洗或處理的交替多層托盤電極,用于小化離子損傷的下游電極,和用于普通的圓柱形籠式電極。
反應(yīng)離子刻蝕機PlasmaStar 100儀器介紹 PlasmaSTAR®系列等離子處理系統(tǒng)適合處理所有的材料,擁有多種腔室和電極配置,可滿足不同的等離子工藝和基片尺寸。占地面積小,用于各種等離子工藝的模塊化腔室和電極配置。此外,觸摸屏計算機控制,多級程序控制和組件控制,操作簡單。PlasmaSTAR®模塊化腔室和電極組件是該系統(tǒng)的*功能。
型號PICO的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)組合使用的最常見選裝件的概覽。Pico 系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域: 分析 (REM, TEM),考古,汽車,研究和開發(fā)部門,半導(dǎo)體技術(shù),小批量生產(chǎn),塑料技術(shù),醫(yī)療技術(shù),微系統(tǒng)技術(shù),傳感技術(shù),滅菌,紡織技術(shù)
型號為Femto的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Femto 等離子系統(tǒng)組合使用的最常見選裝件的概覽。Femto 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域: 分析、考古、汽車、研究和開發(fā)部門、半導(dǎo)體技術(shù)、小批量生產(chǎn)、塑料技術(shù)、醫(yī)療技術(shù)、微系統(tǒng)技術(shù)、傳感技術(shù)、滅菌、紡織技術(shù)
0.5 升的 Low Cost 等離子體實驗室設(shè)備 型號為ATTO的德國Diener等離子清洗機配有手動型 和 Basic PC 控制系統(tǒng),主要用于以下領(lǐng)域: 小批量生產(chǎn)、分析 (REM, TEM)、醫(yī)療技術(shù)、滅菌、研究和開發(fā)部門、考古、紡織技術(shù)、塑料技術(shù)
2.6 升的 Low Cost 等離子體實驗室設(shè)備型號為ZEPTO的德國Diener等離子清洗機,配有手動型 和 Basic PC 控制系統(tǒng),主要用于以下領(lǐng)域: 小批量生產(chǎn), 分析 (REM, TEM), 醫(yī)療技術(shù), 滅菌, 研究和開發(fā)部門, 考古, 紡織技術(shù), 塑料技術(shù)
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