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Microchem SU-8 2000 系列

簡要描述:SU-8 2000化學(xué)放大,i線抗蝕劑非常適合制造 permanent性器件結(jié)構(gòu)。 這些負(fù)色調(diào),環(huán)氧基抗蝕劑表現(xiàn)出優(yōu)異的耐化學(xué)性和低的楊氏模量,使其成為制造微/納米結(jié)構(gòu)的理想選擇,如懸臂,膜和微通道。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-16
  • 訪  問  量:1995

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詳細(xì)介紹

MicroChem環(huán)氧樹脂抗蝕劑由化學(xué)放大的環(huán)氧基負(fù)性抗蝕劑組成,它們具有高度功能性,光學(xué)透明性和可接近UV(365nm)輻射的可成像。固化膜或微結(jié)構(gòu)是對溶劑非常抵扣的,酸和堿以及具有優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和機(jī)械穩(wěn)定性,使其非常適合制造permanent結(jié)構(gòu),如像素墻,流體通道和噴嘴,微陣列和間隔物。

材料的使用:

  • PDMS模具制造
  • 結(jié)構(gòu)部件,如微流體通道,顯示像素陣列,墻壁和介電層
  • 干蝕刻掩膜
  • 快速成型

材料屬性:

  • 旋涂薄膜從< 1µm>75µM
  • 耐高溫和耐化學(xué)性好
  • 光學(xué)透明
  • 兼容i-Line成像設(shè)備

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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