18971121198
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 探針臺(tái) > MicroXact探針臺(tái) > SPS-HP系列MicroXact高精度半自動(dòng)化探針臺(tái)
簡要描述：SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級(jí)可靠性測試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測。
產(chǎn)品型號(hào)：SPS-HP系列 廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-05-17訪 問 量：2056相關(guān)文章
Related Articles詳細(xì)介紹
SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級(jí)可靠性測試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測。
高分辨率復(fù)合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機(jī)選擇。
射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。
拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。
超*真空泵。
溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。
適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。
可選擇XY平移臺(tái)和超堅(jiān)固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。
高分辨率復(fù)合顯微鏡。
偏光顯微鏡。
廣泛的相機(jī)選擇。
射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。
拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。
超*真空泵。
溫度范圍為-65°C至> 400°C的熱卡盤（也可以使用更高的溫度）。
適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。
可選擇XY平移臺(tái)和超堅(jiān)固的焊接鋼橋，用于高分辨率顯微鏡。
| 型號(hào) | SPS-12000-HP | SPS-2800-HP | SPS-2600-HP |
| 晶圓尺寸 | 高達(dá)300mm | 高達(dá)200mm | 高達(dá)100mm |
| 電機(jī)類型 | 步進(jìn)電機(jī) | ||
| XY舞臺(tái)行程 | 高達(dá)300mmx300mm | 高達(dá)200mmx200mm | 高達(dá)100mmx100mm |
| 饋通終端 | BNC，Triax或香蕉插頭 | ||
| 系統(tǒng)尺寸 | 101CM寬x91CM深x 88CM高 | 122CM寬x122CM深x 92CM高 | 78CM寬x80CM深x 58CM高 |
產(chǎn)品咨詢
聯(lián)系人：葉盛
地址：洪山區(qū)珞獅南路147號(hào)未來城A棟
郵箱：sales@mycroinc.com
傳真：歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息
掃一掃
歡迎來到