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MicroXact高精度半自動(dòng)化探針臺(tái)

簡要描述:SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái),設(shè)計(jì)靈活,易于使用,可用于高效設(shè)備表征,晶圓級(jí)可靠性測試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SPS-HP系列
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-17
  • 訪  問  量:2056

詳細(xì)介紹

SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái),設(shè)計(jì)靈活,易于使用,可用于高效設(shè)備表征,晶圓級(jí)可靠性測試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測。
 

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機(jī)選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超*真空泵。

溫度范圍為-65°C> 400°C的熱卡盤(也可以使用更高的溫度)。

適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

可選擇XY平移臺(tái)和超堅(jiān)固的焊接鋼橋,用于高分辨率顯微鏡。

高分辨率復(fù)合顯微鏡。

偏光顯微鏡。

廣泛的相機(jī)選擇。

射頻可偏置卡盤和屏蔽罩。

拋光鍍金可調(diào)節(jié)真空吸盤。

超*真空泵。

溫度范圍為-65°C> 400°C的熱卡盤(也可以使用更高的溫度)。

適用于超聲波和激光切割的系統(tǒng)。

可選擇XY平移臺(tái)和超堅(jiān)固的焊接鋼橋,用于高分辨率顯微鏡。
 

型號(hào)SPS-12000-HPSPS-2800-HPSPS-2600-HP
晶圓尺寸高達(dá)300mm高達(dá)200mm高達(dá)100mm
電機(jī)類型步進(jìn)電機(jī)
XY舞臺(tái)行程高達(dá)300mmx300mm高達(dá)200mmx200mm高達(dá)100mmx100mm
饋通終端BNCTriax或香蕉插頭
系統(tǒng)尺寸101CMx91CMx 88CM122CMx122CMx 92CM78CMx80CMx 58CM

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