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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  光刻膠  >  納米光刻壓印膠  >  mr-I 7000E、mr-I 8000E德國Micro Resist納米壓印膠

德國Micro Resist納米壓印膠

簡要描述:德國Micro Resist公司創(chuàng)立于1993年.公司生產(chǎn)的高性能各種用于微納制作的光刻膠,除了生產(chǎn)用于i、g和h線的光刻膠以外,還有電子束刻蝕膠和納米壓印膠以及專門用于光學(xué)波導(dǎo)制作的光膠可供選擇。

  • 產(chǎn)品型號:mr-I 7000E、mr-I 8000E
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-05-17
  • 訪  問  量:2945

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詳細介紹

品牌

產(chǎn)地

型號

特點

 

Micro Resist

德國

mr-I 7000E系列

Tg = 60

優(yōu)異的成膜質(zhì)量

由于高效的流動性和快速壓印從而縮短整個工藝時間

壓印溫度125 - 150,壓印壓力20 - 50 bar

Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于PMMA

可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)

 
 

mr-I 8000E系列

Tg = 115

優(yōu)異的成膜質(zhì)量

由于高效的流動性和快速壓印從而縮短整個工藝時間

壓印溫度170 - 190,壓印壓力20 - 50 bar

Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于PMMA

可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)

 
 

mr-I PMMA 35k/75k系列

Tg = 105

優(yōu)異的成膜質(zhì)量

低分子量從而實現(xiàn)高效的流動性

壓印溫度150 - 180,壓印壓力50 bar

可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)

 
 

mr-I T85系列

Tg = 85

優(yōu)異的成膜質(zhì)量

壓印溫度140 - 170,壓印壓力大于5 bar

Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于傳統(tǒng)的Novolak基光膠

非極化熱塑性、具有優(yōu)異的紫外和光學(xué)透過率,高化學(xué)穩(wěn)定性

可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)

 
 

mr-I 9000E系列

熱固化之前Tg = 35

優(yōu)異的成膜質(zhì)量
接近等溫加工處理
n 壓印溫度120
n 脫模溫度100
壓印時溫度從TgTg,Cured增加并固化
非常低的殘余膠層厚度低至5 nm
Plasma
刻蝕阻抗性能優(yōu)于傳統(tǒng)的Novolak基光膠
可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)

 
 

mr-NIL 6000系列

光化學(xué)固化之前Tg = 40

優(yōu)質(zhì)的固體光膠薄膜

接近等溫加工處理:壓印、紫外曝光固化,壓印與脫模在同一溫度下進行

非常低的殘余膠層厚度低至10 nm

圖案轉(zhuǎn)移時高保真度

Plasma刻蝕阻抗性能優(yōu)于傳統(tǒng)的Novolak基光膠
可獲得優(yōu)于50 nm的分辨率(取決于模版分辨率)
寬帶或i線曝光

 
 

mr-UVCur06

旋涂使用

優(yōu)質(zhì)的成膜質(zhì)量和膠厚均一性

室溫加工處理

由于快速地填充模版孔隙從而縮短工藝時間

低劑量紫外曝光快速固化

可獲得優(yōu)于30 nm的分辨率(取決于模版分辨率)

Plasma刻蝕高阻抗性能

O2 Plasma刻蝕可無殘余去除

寬帶或i線曝光

 
 

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