光譜橢偏儀顯微分光光度計(jì)

型號：SE-MSP

可通過橢圓偏振光度法在超薄膜上工作，并且還具有通過微反射法與橢圓度計(jì)和微分光光度計(jì)相結(jié)合的*配置的小面積微反射法。TFProbe 3.3版本軟件將處理測量和分析。

對于某些應(yīng)用（例如MEMS或半導(dǎo)體產(chǎn)品晶圓上的功能），希望有一個(gè)小的探測點(diǎn)。將顯微分光光度計(jì)與橢圓偏振光度計(jì)集成在一起后，工具的功能將大大擴(kuò)展。SE-MSP型是為此目的而設(shè)計(jì)的。MSP在反射法模式下工作，并以法向入射角進(jìn)行測量，這是對非法向入射角SE設(shè)置的補(bǔ)充。SE和MSP的波長范圍可以根據(jù)應(yīng)用需求進(jìn)行不同配置。所有選項(xiàng)都是可選的。

應(yīng)用范圍：

•半導(dǎo)體制造（PR，氧化物，氮化物..）

•液晶顯示器（ITO，PR，液晶盒間隙…..）

•法醫(yī)，生物膜和材料

•油墨，礦物學(xué)，顏料，碳粉

•藥品，醫(yī)療器械

•光學(xué)涂料，TiO2，SiO2，Ta2O5…..

•半導(dǎo)體化合物

•MEMS / MOEMS中的功能膜

•非晶，納米和晶體硅

特征：

•易于使用，基于Window的軟件進(jìn)行操作

•*光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)*系統(tǒng)性能

•使用SExxxBA選項(xiàng)以0.001度的分辨率自動(dòng)更改入射角

•高功率光源，適用于寬帶應(yīng)用

•基于陣列的探測器系統(tǒng)可確保快速測量

•測量多層膜的厚度和折射率，允許用戶設(shè)計(jì)無限層的模型

•系統(tǒng)附帶全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫

••TFProbe 3.3軟件允許用戶為每膜使用NK表，色散或有效介質(zhì)近似值（EMA）

•三種不同的用戶級別控制：工程師模式，系統(tǒng)服務(wù)模式和簡易用戶模式

•靈活的工程師模式，適用于各種配方設(shè)置和光學(xué)模型測試

•強(qiáng)大的一鍵式按鈕解決方案，可進(jìn)行快速和常規(guī)的測量

•可配置的測量參數(shù)，操作簡便

•全自動(dòng)系統(tǒng)校準(zhǔn)和初始化

•直接從樣品信號獲得精確的樣品比對接口，無需外部光學(xué)器件

•精確的高度和傾斜度調(diào)整

•適用于許多不同類型，厚度不同的基材

•各種選件，附件可用于特殊配置，例如測繪臺，波長擴(kuò)展，焦點(diǎn)等

•2D和3D輸出圖形和用戶友好的數(shù)據(jù)管理界面

••用于微米區(qū)域選擇的數(shù)字成像工具

•集成反射計(jì)，用于小范圍內(nèi)的反射測量

系統(tǒng)配置：

探測器：探測器陣列

波長范圍可配置為190至1700nm

光源：基于SE和MSP的波長范圍

入射角更改：自動(dòng)，帶有程序設(shè)置

階段：手動(dòng)或自動(dòng)映射階段

軟件：TFProbe 3.3

SE和MSP結(jié)合

電腦：Intel i3處理器

顯示器：22英寸寬屏液晶

電源：通用110– 240 VAC / 50-60Hz，6 A