詳細介紹
光譜橢偏儀帶自動監(jiān)測
橢圓偏振光譜(SE)是一種成熟的光學技術,用于以非破壞性和非接觸方式表征塊狀材料,薄膜,涂層,表面層和嵌入層。對于常規(guī)和晶圓廠加工質量控制,必須有一個自動盒式裝卸機。為此,我們開發(fā)了一種低成本解決方案,可將晶圓尺寸從2“擴展到8”(臺式),將塔式尺寸擴展到12“。用戶甚至可以為每個插槽定義配方,從而為整個盒式磁帶測量定義配方。
應用范圍:
半導體制造(PR,氧化物,氮化物..)
液晶顯示器(ITO,PR,液晶盒間隙…..)
光學涂料,TiO2,SiO2,Ta2O5…..
半導體化合物
MEMS / MOEMS中的功能膜
非晶,納米和晶體硅
光伏薄膜,CdTe,CdS,CIGS,AZO,CZTS .....
特征:
水平樣品放置
價格合理,成本低廉,設計緊湊
易于與基于Windows的軟件一起使用;高級用戶的科學模式,日常操作員模式
可變入射角,用戶可定義分辨率
全面的光學常數數據庫和模型配方
*TFProbe軟件允許用戶定義具有NK表,色散或EMA混合物/復合材料的層以及索引等級以及表面/界面粗糙度...
可通過各種選件和附件進行升級和重新配置
晶圓厚度:200µm至1mm(弓形<1.5mm,無翹曲)
前載紙盒
帶有傳感器的高速電梯
包括盒式磁帶映射器(檢測空插槽和交叉開槽的晶圓)
包含臺載傳感器
包含用于平板或槽口的預對準器
EMO緊急關機開關
中心觸點末端執(zhí)行器與橢圓偏振儀工具上的晶片支架匹配
兼容潔凈室
易于使用的可調節(jié)水平腳,并牢固橋接至橢圓儀框架
緊湊的設計,所有電子設備內置在裝載機中
通用電源輸入
通過USB與計算機通信,與Ellipsometer共享一臺計算機和顯示器
升級的TFProbe SW具有集成的晶圓處理功能,易于操作
特殊設計的帶有真空吸盤的新型晶圓支架,可將晶圓固定在適當位置
系統配置:
根據不同的應用,光譜橢偏儀可以配置SE200BM,SE300BM和SE500BM或其他型號。
總重量:300磅
尺寸:60英寸(長)x 35英寸(長)x 35英寸(高)
電源:通用輸入100-240 VAC,6A,50-60 H
真空源:小70 kPa(21 Hg),帶有1/4英寸的供氣管
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