簡要描述:勻膠涂膜機ST20+ 實驗室臺式勻膠機是一款緊湊的旋涂,顯影,清潔和干燥半自動系統(tǒng),旨在為科學和研究領域的用戶提供高效,安全和清潔的實驗室系統(tǒng)。 該設備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理,例如編寫,編輯,保存和加載。 服務區(qū)提供用于手臂和旋轉板以及介質控制的設置選項。 還集成了可通過USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。
詳細介紹
勻膠涂膜機ST20+特點:
÷ 直驅無刷微調電機
÷ 全軸電機驅動且*可編程
÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制
÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋
÷ 旋轉器蓋傳感器控制
÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序
÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼
÷ 外殼上的電源開關ON / OFF
÷ 配備標準的水坑噴嘴,通過水坑噴嘴注入溶劑
÷ 可拆卸處理碗和飛濺環(huán),便于清潔
÷ 可處理圓形晶片,尺寸大為Ø200mm(Ø8英寸)
÷ 可處理方形基板,尺寸大為150 x 150毫米(6 x 6英寸)
÷ 標配多安裝3個介質管線/噴嘴(可選:多5個介質管線/噴嘴)
÷ 可視真空控制儀
÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統(tǒng)運行來控制
÷ 含0.5 Itr的廢液瓶
÷ 可選的帶Z軸移動和PR分配系統(tǒng)的電動介質臂
÷ 可作為臺式安裝,也可做獨立裝置使用
÷ 簡單且經濟高效
÷ 專為研究所,實驗室和基礎研發(fā)而設計
應用于:旋涂,顯影,清潔和干燥
勻膠涂膜機ST20+產品參數:
可處理襯底尺寸:直徑大為Ø200mm(Ø8英寸)圓片,或大為150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片;
旋轉速度:10,000rpm *,(以rpm步長為單位);
加速度:4.000 rpm / sec *;
處理時間:1至999,9sec,以0.1秒為步;
處理碗:可更換,聚丙烯(PP)材質
腔體:白色(PP)材質
固定晶圓片或襯底的裝置:真空托盤;
電源:230(208)VAC / 1Phase/ N / PE / 50(60)Hz
真空:-0.8 bar / -600 Torr,管外直徑6 mm
排氣-過程:1x外徑38毫米,約 30立方米/小時
氮氣(可選):4土0.2 bar,PFA管外徑6 mm
CDA(可選):8土2bar,管外徑8mm。
選配項:
適用各種尺寸大小的托盤
分配臂
泵
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