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勻膠涂膜機ST20+

簡要描述:勻膠涂膜機ST20+ 實驗室臺式勻膠機
是一款緊湊的旋涂,顯影,清潔和干燥半自動系統(tǒng),旨在為科學和研究領域的用戶提供高效,安全和清潔的實驗室系統(tǒng)。 該設備具有易于使用的界面和7英寸彩色觸摸屏。 該軟件包含程序菜單管理,例如編寫,編輯,保存和加載。 服務區(qū)提供用于手臂和旋轉板以及介質控制的設置選項。 還集成了可通過USB保存的軟件更新功能以及日志文件和程序備份功能。

  • 產品型號:BASIXX ST20+
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-05-17
  • 訪  問  量:1707

詳細介紹

勻膠涂膜機ST20+特點:

÷ 直驅無刷微調電機

÷ 全軸電機驅動且*可編程

÷ 具有程序菜單管理功能的軟件控制

÷ 帶安全中斷傳感器的透明蓋

÷ 旋轉器蓋傳感器控制

÷ 通過觸摸屏或按鈕啟動程序

÷ 7英寸彩色觸摸屏PP制成的處理碗和臺式外殼

÷ 外殼上的電源開關ON / OFF

÷ 配備標準的水坑噴,通過水坑噴嘴注入溶劑

÷ 可拆卸處理碗和飛濺環(huán),便于清潔

÷ 可處理圓形晶片尺寸Ø200mm(Ø8英寸)

÷ 可處理方形基板,尺寸大為150 x 150毫米(6 x 6英寸)

÷ 標配多安裝3個介質管線/噴嘴(可選:多5個介質管線/噴嘴)

 

÷ 可視真空控制儀

÷ 真空閥塊和傳感器的安全性由程序啟動和系統(tǒng)運行來控制

÷ 含0.5 Itr廢液瓶

÷ 可選的帶Z軸移動和PR分配系統(tǒng)的電動介質臂

÷ 可作為臺式安裝,也可做獨立裝置使用

÷ 簡單且經濟高效

÷ 專為研究所,實驗室和基礎研發(fā)而設計

 

應用:旋涂,顯影,清潔和干燥

 

勻膠涂膜機ST20+產品參數:

可處理襯底尺寸:直徑大為Ø200mm(Ø8英寸)圓片,或大為150 x 150毫米(6 x 6英寸)方片;

旋轉速度:10,000rpm *,(rpm步長為單位);

加速度:4.000 rpm / sec *;

處理時間:1至999,9sec,以0.1秒為步;

處理碗:可更換,聚丙烯(PP)材質

腔體:白色(PP)材質

固定晶圓片或襯底的裝置:真空托盤;

電源:230(208)VAC / 1Phase/ N / PE / 50(60)Hz

真空:-0.8 bar / -600 Torr,管外直徑6 mm

排氣-過程:1x外徑38毫米,約 30立方米/小時

氮氣(可選):4土0.2 bar,PFA管外徑6 mm

CDA(可選):8土2bar,管外徑8mm。

 

選配

適用各種尺寸大小的托盤

分配臂

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