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當(dāng)前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  掩膜曝光光刻機(jī)  >  Mask Aligner系列  >  MPEM-1600掩膜曝光光刻機(jī)Mask Aligner

掩膜曝光光刻機(jī)Mask Aligner

簡(jiǎn)要描述:MYCRO*荷蘭光刻機(jī)(掩膜曝光光刻機(jī)Mask Aligner ),是的光刻系統(tǒng),為半導(dǎo)體制造和科研領(lǐng)域提供品質(zhì)優(yōu)良穩(wěn)定的全波段紫外光刻機(jī)系統(tǒng),廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻工藝制程、微機(jī)電MEMS、二極管芯片、發(fā)光二極體(LED)芯片制造、生物器件、納米科技、顯示面板LCD、光電器件、奈米壓印以及電子封裝等諸多領(lǐng)域。

  • 產(chǎn)品型號(hào):MPEM-1600
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-17
  • 訪  問  量:2747

詳細(xì)介紹

一、掩膜曝光光刻機(jī)Mask Aligner產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

光刻機(jī)分為半自動(dòng)和全自動(dòng)兩大系列。MPEM系列是高精度的雙向掩模對(duì)準(zhǔn)器,在晶片的頂側(cè)和底側(cè)包括對(duì)準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng),因此可以與頂側(cè)對(duì)準(zhǔn)對(duì)頂側(cè)表面進(jìn)行接觸,軟接觸和接近圖案化。晶片底面上的圖形。掩模和晶圓的準(zhǔn)確對(duì)準(zhǔn)可能是通過高分辨率光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的,該光學(xué)系統(tǒng)的頂部和底部均安裝了對(duì)稱排列的10X物鏡。由于可以調(diào)成對(duì)的物鏡之間的間隔,所以不規(guī)則形成的晶片也可以自由地對(duì)準(zhǔn)。

 

MPEM-1600

MPEM-12M

MPEM-16M

光罩尺寸

多5英寸

多7英寸

多9英寸

晶圓尺寸

高達(dá)4英寸(無定形)

高達(dá)6英寸(無定形)

高達(dá)8英寸(無定形)

面罩架滑動(dòng)

手動(dòng)卡盤

面具運(yùn)動(dòng)

X =±3毫米,Y =±3毫米

接觸

方法

軟接觸/硬接觸/接近暴露

 

 

照明

250W超高壓蒸氣汞燈

500W超高壓蒸氣汞燈

照明不規(guī)則

±5%

有效接觸面積

直徑100毫米

直徑150毫米

直徑200毫米

解析度

3mµ L / S

對(duì)準(zhǔn)

方法

目鏡觀察(精神領(lǐng)域系統(tǒng))

9英寸視頻

監(jiān)控系統(tǒng)

物鏡

10X兩對(duì)(上/下)

目鏡

NWF 10X(一對(duì))

--

總放大倍率

100倍

200倍

物鏡分離

15?90毫米

80?140毫米

55?184毫米

聚焦單元

手冊(cè)

對(duì)準(zhǔn)范圍

X,Y =±4mmθ
=±22.5°

X,Y =±4mmθ
=±5°

對(duì)齊間隙

09?99微米

對(duì)準(zhǔn)精度

小于±5mm

實(shí)用工具

主機(jī)電源

100-220V AC,50 / 60Hz,15A(600W)

水銀燈電源

100-220V AC,50 / 60Hz,15A(550W)

100-220V,50 / 60Hz,15A(1,100W)

氮?dú)?/span>

0.4?0.5兆帕

100-220V AC,50 / 60Hz,15A(1,100W)

真空壓力

小于21.3kPa
(從大氣壓到-80kPa )

尺寸(主機(jī))

750( 寬)x
820(深)x
1,700(高)mm

940( 寬)x
860(
深)x 1,670(高)mm

1,200( 寬)x
1,090(深)x
1,800(高)mm

凈重

大約 450公斤

大約 550公斤

大約 700公斤

選件

NWF 15X目鏡(一對(duì))
9英寸電視監(jiān)視器系統(tǒng)(黑白)

--
 

 

MPEM-1600

MPEM-12M

MPEM-16M

(適用
于直徑大為4英寸的晶片)

(適用
于直徑大為6英寸的晶片)

(適用
于直徑大為8英寸的晶片)

                        

*除上述以外,還提供電動(dòng)MPEM-2000 / 4000型和全自動(dòng)MPEM-8M / 12M型。

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