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韓國Mask Aligner光刻機(jī)

簡要描述:光刻是一種將圖案從玻璃光掩模轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體或玻璃基板上的光學(xué)技術(shù)。

  • 產(chǎn)品型號:M-150和P-150
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-05-17
  • 訪  問  量:1775

詳細(xì)介紹

M-150

光刻是一種將圖案從玻璃光掩模轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體或玻璃基板上的光學(xué)技術(shù)。M系列是用于光刻的掩模對準(zhǔn)器。M-150專為6英寸晶圓設(shè)計,具有硬接觸、軟接觸、真空接觸三種接觸方式。曝光器有一個350W的紫外線光源。365nm處的光功率為25mW/cm ??捎糜谏虡I(yè)半導(dǎo)體制造或大學(xué)實驗室晶圓制造以及MEMS領(lǐng)域。


技術(shù)參數(shù)

類型

PLC手動控制系統(tǒng)

波長

350 ~ 450 nm

掩膜版尺寸

最大7英寸

紫外光強(qiáng)度

15 ~ 25/ ?

基片尺寸

6英寸

紫外線光束均勻度

3 ~ 5 %

分辨率

1 ?

接觸模式

真空/硬/軟/接近

對準(zhǔn)精度

1 ?

顯微鏡

CCD變焦顯微鏡

紫外燈和電源

350W

選配項

Anti-vibration table, IR BSA, CCD BSA


P-150

光刻是一種將圖案從玻璃光掩模轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體或玻璃基板上的光學(xué)技術(shù)。P-150專為6英寸晶圓設(shè)計,具有硬接觸、軟接觸、真空接觸三種接觸方式。曝光器有一個350W的紫外線源。365nm處的光功率為25mW/cm ??捎糜谏虡I(yè)半導(dǎo)體制造或大學(xué)實驗室晶圓制造以及MEMS領(lǐng)域。


技術(shù)參數(shù)

類型

觸摸屏PC手動控制系統(tǒng)

波長

350 ~ 450 nm

掩膜版尺寸

最大7x7英寸

紫外光強(qiáng)度

15 ~ 25/ ?

基片尺寸

6英寸

紫外線光束均勻度

3 ~ 5 %

分辨率

1 ?

接觸模式

真空/硬/軟/接近

對準(zhǔn)精度

1 ?

顯微鏡

CCD變焦顯微鏡

紫外燈和電源

350W

選配項

IR BSA, CCD BSA


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