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當(dāng)前位置:首頁(yè)   >  產(chǎn)品中心  >  紫外掩膜曝光系統(tǒng)  >  UV-KUB 3  >  UV-KUB 3UV-LED 的緊湊型掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

UV-LED 的緊湊型掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:UV-KUB 3 是一種基于掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 這是一個(gè)非常緊湊的桌面系統(tǒng),兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學(xué)裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準(zhǔn)直光束,因此可實(shí)現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。

  • 產(chǎn)品型號(hào):UV-KUB 3
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-05-17
  • 訪  問(wèn)  量:1326

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詳細(xì)介紹

u非常緊湊實(shí)用的系統(tǒng)

u 365nm 處*單色曝光

u可處理 4 英寸晶圓

u硬(物理)接觸或軟(接近)接觸模式

u兼容所有光刻膠

u分辨率:2µm

u對(duì)準(zhǔn)分辨率:< 3µm

u PAD 引導(dǎo)

 

UV-KUB 3 是一種基于掩對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的 UV-LED,具有 365nm 的可用光源。 這是一個(gè)非常緊湊的桌面系統(tǒng),兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm2 工作表面。 由于特定的光學(xué)裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準(zhǔn)直光束,因此可實(shí)現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µmUV-KUB 3 系統(tǒng)兼容硬(物理)接觸或軟(接近)接觸模式,并提供低至 3 µm 的對(duì)準(zhǔn)分辨率。 該掩對(duì)準(zhǔn)器系統(tǒng)支持所有標(biāo)準(zhǔn)光刻膠,例如 AZ、Shipley、SU-8 K-CL

對(duì)準(zhǔn)器UV-KUB 3是第一款配備UV-LED光源的掩對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),可在國(guó)際市場(chǎng)上提供一個(gè)好的的準(zhǔn)直和均勻曝光。這款新一代掩對(duì)準(zhǔn)器*由觸摸屏操作進(jìn)行曝光,通過(guò)操縱板控制進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)操作。由于其防塵罩,該設(shè)備*安全,是市場(chǎng)上wei 一使精密光刻而無(wú)需潔凈室類(lèi)型環(huán)境的解決方案。

 

技術(shù)突破:

1、高質(zhì)量準(zhǔn)直器

· 發(fā)散角小于2°,保證了在厚層上實(shí)現(xiàn)分辨率低至 1µm和邊緣垂直度極 jia的圖案。

· 這種高質(zhì)量的準(zhǔn)直允許在不需要真空接觸模式的情況下達(dá)到微米級(jí)的分辨率。

2、LED技術(shù)

·完 mei的單色曝光光源

·冷紫外線源,防止不良熱效應(yīng)

·可以在連續(xù)或脈沖模式下運(yùn)行

·壽命長(zhǎng):uv-led光源不屬于消耗品

3、分辨率和對(duì)準(zhǔn)精度

·這種新一代掩模對(duì)準(zhǔn)器能夠在整個(gè)4"6"工作表面上實(shí)現(xiàn)低于1µm的微結(jié)構(gòu),對(duì)準(zhǔn)精度小1 µm

 

特征:

? 晶圓表面區(qū)域的完 mei單色曝光,帶寬低于 10 nm

? PAD 引導(dǎo)的視頻輔助定位系統(tǒng)

? 冷紫外線照射和基板環(huán)境的實(shí)時(shí)原位溫度控制,在整個(gè)表面上的均勻照射,因此消除了任何不良的熱效應(yīng)

? 強(qiáng)大的功率密度

? LED 壽命長(zhǎng):受控實(shí)時(shí)使用時(shí)間超過(guò) 10 000 小時(shí)

? 用戶友好型觸摸屏界面,可設(shè)置曝光循環(huán)編程(連續(xù)或循環(huán)曝光)

? 無(wú)需預(yù)熱時(shí)間

? 紫外線源強(qiáng)度調(diào)節(jié)的計(jì)算機(jī)控制,很直觀

? 紫外線照射室*密封:保證用戶安全

? 自動(dòng)晶圓裝載和卸載系統(tǒng)

? 低消耗

 

工藝應(yīng)用:

UV-KUB 3 系統(tǒng)非常適合實(shí)驗(yàn)室和研發(fā)團(tuán)隊(duì)的廣泛應(yīng)用,這些應(yīng)用涉及光學(xué)、生物技術(shù)、微電子、需要多層掩膜、晶圓鍵合、簡(jiǎn)單層或粘合劑固化、連接、組裝和生物或細(xì)胞培養(yǎng)的光刻工藝。

 

技術(shù)參數(shù):

分辨率

1µm

對(duì)準(zhǔn)精度

1µm

發(fā)散角

< 2°

可編程周期數(shù)

100

曝光周期(連續(xù)或循環(huán))

1 秒到1小時(shí)

接觸模式

硬(物理)接觸或軟(接近)接觸模式

可視化系統(tǒng)分辨率

1,5µm

θ襯底位移分辨率

5.10-4°

XYZ襯底位移分辨率

0,4µm

 

UV-LED光源:

波長(zhǎng)

365 nm ± 5 nm

均勻曝光

+/-5%

LED的壽命

>10000小時(shí)

 

工作處理表面:

處理表面

4" 6" 晶圓

可接受的掩膜版尺寸

4" 6" 版本分別高達(dá) ? 5" ? 7"

可接受的基材尺寸

? 2" - ? 4" - ? 6" 50 x 50mm - 100 x 100mm

/基板測(cè)量距離分辨率

0,5µm

曝光期間的基板預(yù)熱

< 1°C

兼容光刻膠

SU8Shipley、AZ ResistK-CL 抗蝕劑

 

其他參數(shù):

·尺寸475(L)x 480(W)x 515(H)毫米

·重量55千克/121

·彩色觸摸屏:15.6英寸

·功率密度:35 mW/cm2+/-10%

·電源:100 v/240 V-50 Hz/60 Hz

·功率180 W

·可與鍍鉻和柔性薄膜掩膜版兼容

 

 


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