原子層沉積

簡要描述：占地面積小的桌面系統(tǒng)（< 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺）
具有超快 MFC 的高溫兼容快速脈沖 ALD 閥，用于集成惰性氣體吹掃。
4 英寸圓形卡盤可定制，適用于較小尺寸或其他形狀（11 毫米高）。
3 種有機金屬前體和 2 種（最多 3 種）反反應(yīng)物。
整個加熱管線（從前體到腔室）。
高曝光（用于溝槽和多孔基板）和靜態(tài)處理模式
全鋁（半導(dǎo)體級）腔室 ? 范圍高達 310°C

產(chǎn)品型號：AT410
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-05-17
訪問量：738

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類

相關(guān)文章

詳細介紹

占地面積小的桌面系統(tǒng)，兼容無塵室。
占地面積小的桌面系統(tǒng)（< 0.15 立方米 | 2.5 平方英尺）
具有超快 MFC 的高溫兼容快速脈沖 ALD 閥，用于集成惰性氣體吹掃。
4 英寸圓形卡盤可定制，適用于較小尺寸或其他形狀（11 毫米高）。
3 種有機金屬前體和 2 種（最多 3 種）反反應(yīng)物。
整個加熱管線（從前體到腔室）。
高曝光（用于溝槽和多孔基板）和靜態(tài)處理模式
全鋁（半導(dǎo)體級）腔室 ? 范圍高達 310°C
7″ 觸摸屏 PLC 控制器（無需 PC）
包括終身軟件升級
1 年保修（包括零件）
AT610
全鋁（半導(dǎo)體級）腔室 ? 范圍高達 310°C
具有超快 MFC 的高溫半導(dǎo)體級快速脈沖 ALD 閥，用于集成惰性氣體吹掃。
6″ 圓形卡盤（7″ 方形）可定制為更小的尺寸或其他形狀（11 毫米高）。
流線型腔體設(shè)計，腔體體積小
3 種有機金屬前體和 2 種（最多 3 種）反反應(yīng)物。

前體可以加熱到 150°C。

整個加熱管線（從前體到腔室）。
簡單的系統(tǒng)維護和市場上的公用事業(yè)和前體使用
高曝光（用于溝槽和多孔基板）和靜態(tài)處理模式
7″ 觸摸屏 PLC 控制器（無需 PC）

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

上一篇：WaveDriver 200電極旋轉(zhuǎn)器、恒電位儀
下一篇：G2001A1ossila光譜儀

国产精品久久久久无码AV铜川,国产精品国产三级国产AV玫瑰,国产又粗又猛,精品一区二区久久久久黄大片

原子層沉積

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：