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簡要描述:型號PICO的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)組合使用的最常見選裝件的概覽。Pico 系統(tǒng)主要應用于以下領(lǐng)域:分析 (REM, TEM),考古,汽車,研究和開發(fā)部門,半導體技術(shù),小批量生產(chǎn),塑料技術(shù),醫(yī)療技術(shù),微系統(tǒng)技術(shù),傳感技術(shù),滅菌,紡織技術(shù)
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型號PICO的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統(tǒng)。下面是能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)組合使用的最常見選裝件的概覽。型號PICO的德國Diener等離子清洗機主要應用于以下領(lǐng)域:
分析 (REM, TEM),考古,汽車,研究和開發(fā)部門,半導體技術(shù),小批量生產(chǎn),塑料技術(shù),醫(yī)療技術(shù),微系統(tǒng)技術(shù),傳感技術(shù),滅菌,紡織技術(shù)
1.基本裝備:
根據(jù)組件/選裝件,外殼規(guī)格會有所不同
腔室容積:根據(jù)具體版本 4 - 15 升
供電電源:臺式設備為 230 V,立式設備為 400 V/3 相位
2.氣體供給:針型閥,質(zhì)量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室:
圓形不銹鋼,帶蓋(約 ∅ 150 mm,長 320 mm 或長 600 mm)或
矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm)
矩形鋁材,帶鉸鏈的門(約 ∅ 160 mm x 160 mm,長 325 mm 或長 600 mm)
圓形石英玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約直徑130 mm,長 300mm或600 mm)
圓形硼硅玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約直徑130 mm,長 300 mm或600 mm)
4.裝載件
產(chǎn)品支架(選項:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
5.電極:單層或多層,RIE
6.控制系統(tǒng)
半自動型
Basic PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)
Full PC 控制系統(tǒng) (Windows 10 IoT)
7.壓力測量:Pirani,電容式壓力計(適用于腐蝕性氣體版本)
8.計時器:數(shù)字
9.發(fā)生器
頻率:
40 kHz:功率 0 - 200 W;0 -1000 W
100 kHz:功率 500 W
80 kHz:功率 1000 W
13.56 MHz:功率 0 - 100 W;0 - 300 W
2.45 GHz:功率 0 - 300 W
所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型
10.真空泵
不同規(guī)格,來自不同制造商(根據(jù)需要配備活性炭過濾器)
11.其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝,包括培訓??蓱筇峁┑钠渌x項
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