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SPS-1000,SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動(dòng)探針臺(tái),設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能,DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項(xiàng),我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用,例如故障分析,可靠性測試,IV / CV測試,低目前的測試,微波和射頻表征等等。
隨著半導(dǎo)體變得越來越小和越來越復(fù)雜,有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn),特別是在該過程的更上游。使用MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行的晶圓級可靠性測試通過一系列壓力測試收集數(shù)據(jù),以識(shí)別可能影響器件長期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要,但在晶片級可靠性測試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。 系統(tǒng)構(gòu)建在一個(gè)重型,通用的平臺(tái)上,能夠配置為處理各種探測應(yīng)用。
SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái),設(shè)計(jì)靈活,易于使用,可用于高效設(shè)備表征,晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測。
MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)提供多種選擇,包括加熱/冷卻晶圓卡盤,標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺(tái)分度,為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟(jì)高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動(dòng)探針臺(tái)有三種選擇(標(biāo)準(zhǔn),高精度和高速)。
LCS-4000系列分析探針臺(tái)配有激光切割系統(tǒng) 帶有集成激光切割系統(tǒng)的LCS-4000探針臺(tái)為用戶提供了半導(dǎo)體診斷切割,失效分析,修整,標(biāo)記和頂層去除的大靈活性。所有這些功能都可以在微觀層面上進(jìn)行,所有這些都在這一系統(tǒng)上進(jìn)行,這提供了非常易于使用的高水平性能。
A4P四點(diǎn)探針自動(dòng)電阻率測繪系統(tǒng) A4P系列晶圓電阻率映射器使用經(jīng)過驗(yàn)證的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),可以快速,準(zhǔn)確,可靠地測量樣品電阻率分布。MicroXact的四點(diǎn)探針通過使電流通過四點(diǎn)探頭的外部點(diǎn)并測量內(nèi)部點(diǎn)的電壓來測量半導(dǎo)體晶圓層的平均電阻。然后可以通過將薄層電阻乘以薄膜的厚度來找到電阻率的值,即賦予其電阻的材料的性質(zhì)。
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