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當前位置：首頁   >  產品中心   >  紫外掩膜曝光系統(tǒng)  >  UV-KUB 3

  • UV-KUB 3UV-LED 的緊湊型掩膜對準系統(tǒng)

    UV-KUB 3 是一種基于掩膜對準系統(tǒng)的 UV-LED，具有 365nm 的可用光源。 這是一個非常緊湊的桌面系統(tǒng)，兼容 4 英寸晶圓和 100x100 mm² 工作表面。 由于特定的光學裝置可提供最大發(fā)散角小于 2° 的準直光束，因此可實現(xiàn)的最小特征尺寸為 2 µm。

    訪問次數(shù)：1323
    產品價格：面議
    廠商性質：代理商
    更新日期：2024-05-17
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