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應(yīng)用: 芯片封裝,工業(yè)應(yīng)用,醫(yī)學(xué)應(yīng)用等,是小尺寸實(shí)驗(yàn)室R&D 或小規(guī)模生產(chǎn)的理想選擇。
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MYCRO的SCE-604系列感應(yīng)耦合等離子體(ICP)等離子體系統(tǒng)是用于Anatech等離子灰化機(jī)工藝的Z有效儀器。適用設(shè)備如:SCE-104, 106, 108。等體灰化1-4個(gè)樣本的系統(tǒng)(4個(gè)獨(dú)立的反應(yīng)艙),每個(gè)石英反應(yīng)艙是獨(dú)立封閉,從而避免交叉污染。
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